廣州踏實半導體化工熱解析方案

半導體，化工材料制造檢測中也多用到熱解析儀設備
案列：丙烯酸膠帶用于半導體制造工藝中。對在半導體制造中使用的丙烯酸類膠帶，通過釋放氣體分析(EGA)- MS和TD-GC/MS分析加熱過程中有惡臭味的瑕疵品和良品，并分析瑕疵品中產(chǎn)生氣味的原因。
在半導體器件和化學品制造的分析中，痕量元素雜質(zhì)的控制對于性能具有至關重要的作用，甚至影響半導體產(chǎn)品的良品率。
半導體制造商需要在整個制造過程中擁有檢測超痕量污染物的能力，包括晶圓、超純水、化學試劑、光刻膠、電子特氣、封裝材料等。
半導體工藝的進步，對元素雜質(zhì)和微粒污染物檢測能力提出了更高的要求。
半導體行業(yè)中使用的有機化合物的純度雜質(zhì)影響到相關產(chǎn)品的質(zhì)量。
半導體行業(yè)使用的有機試劑也會產(chǎn)生相應的揮發(fā)性有機物，對生產(chǎn)和環(huán)境造成污染，包括AMC、VOCs等。珀金埃爾默公司熱解析儀與氣相色譜質(zhì)譜聯(lián)用，可實現(xiàn)潔凈室或生產(chǎn)區(qū)域內(nèi)空氣的在線或離線采集進樣，并檢測出低濃度（<ppb）的有機污染物。

廣州踏實半導體化工熱解析方案

GBT 24577-2009 熱解吸氣相色譜法測定硅片表面的有機污染物.pdf

GBT 33871-2017 墨粉中總揮發(fā)性有機化合物（TVOC）、苯和苯乙烯的測定 熱脫附-氣相色譜法.pdf